晟盈半导体设备（江苏）有限公司新建生产半导体器件专用设备项目信息公开

晟盈半导体设备（江苏）有限公司新建生产半导体器件专用设备项目信息公开

开工前

《晟盈半导体设备（江苏）有限公司新建生产半导体器件专用设备项目》于2023年4月24日取得苏州市生态环境局的审批意见（苏环建〔2023〕07第0126号）。本项目位于苏州相城经济技术开发区澄阳街道富元路富阳工业坊9号厂房，环评批准建设规模为年产电化学沉积设备50台、年测试晶圆片21000片。环保设施设计单位：中国电子系统工程第二建设有限公司；环保设施施工单位：中国电子系统工程第二建设有限公司。

本项目生活污水经市政污水管网排入苏州市相润排水管理有限公司（城区污水处理厂）处理；生产废水经厂区废水处理系统（TMF膜+RO+深度处理）处理后回用于超纯水制备系统；实验室测试废气、电沉积液调配间废气经二级碱喷淋塔处理后通过15m高DA001排气筒排放。

施工期

本项目于2023年5月开工建设，建设过程中各环保措施均按环评中设计规模进行建设，无环境投诉、无违法或处罚记录。

建成后

本项目于2023年8月竣工，于2024年5月开始调试运行，建设内容较环评存在变动，但不属于重大变动，各项环保措施均与环评内容一致。于2024年5月24日-25日委托南京爱迪信环境技术有限公司进行了竣工验收监测，各污染物浓度均满足环评相关标准及排放总量要求。

晟盈半导体设备（江苏）有限公司

2024年8月