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标题: 半导体面板厂制程中使用的剥离液排气怎么处理? [打印本页]

作者: woaixuexi    时间: 2025-8-2 12:29
标题: 半导体面板厂制程中使用的剥离液排气怎么处理?
就是关于半导体面板厂制程中使用的剥离液排气,如何进行有效处理,应该采用什么处理方案,且剥离液的处理不易,就算环保达标了可能排口还是会存在明显异味,易造成周边环保投诉。
作者: admin    时间: 2025-8-2 17:06
VOCs和臭味是两个独立指标,两个指标是“and/和"的关系,不是”ro/或“的关系
作者: admin    时间: 2025-8-2 17:16
剥离液的主要成分包括有机溶剂(丙酮、异丙醇、乙酸乙酯)、表面活性剂、酸碱度调节剂、螯合剂等。
其中丙酮、异丙醇、乙酸乙酯多属于低沸物,沸点68-80度左右,可以根据废气浓度,使用吸脱附-CO或RCO等工艺都可以处理,处理后可以接洗涤+生物除臭等进一步处理。
作者: cc1334026560    时间: 2025-8-3 11:34
面板厂每家的制程工艺不一样,用的剥离液成分也不一样,几个大厂用的都是:“室内冷凝器+屋面洗涤塔”处理工艺
作者: woaixuexi    时间: 2025-8-5 09:31
目前我在的项目就是室内冷凝器+屋面洗涤塔,环保是达标的,但就是排口有很大异味,所以这个问题采用什么处理方式比较好。后端再加吸附的话短时间可能去除异味,但是一段时间过后排口依旧出现很大异味。不能持续的吸附脱附,需要经常更换吸附材料,运维成本较高。




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